콴탁스마이크로-xrf
최소한의샘플준비로미량소감도
넓은역에도고속원소x선매핑
필름두께분석
하이라이트
오후10시
탐지 제한
낮은스펙트럼배경으로해추적소분석사용
4毫米/秒
이동 속도
옵션래피드스테이지는넓은역에고속매핑을가능하게합니다。
1nm ~ 40 μm
레이어두께범위
1nm에서40 μm의다층구조까지의박막을분석할수있습니다。
Sem에서eds분석을위한무료분석기술마이크로-xrf
- 마이크로X선형광(Micro-XRF)분광분석은스캐닝전자현미경(SEM)을이용한전통적인에너지분산분광법(EDS)분석에대한상호보완적인비파괴분석기술이다。이러한분석은큰센티미터크기의불합종표본에서작은마이크로미터입자에이르기까지알수없는샘플내에서원소조성의특성화에중요하다。
- X선흥분은미량소감지(특정소에대해10ppm까지아래)，확장된x선스펙트럼범위(최대40keV)에대한훨씬더높은감도를생성하고샘플내의더큰깊이에서얻은정보를생성합니다。
- 마이크로초점x선광학과결합된x선튜브를장착하면고강도처리량이있는30 μm크기의작은스팟크기를얻을수있습니다。
- 모듈식압착기반스테이지는기존sem스테이지위에장착하도록특별히설계된단계로，최대4mm/초의넓은역에걸쳐고속원소x선매핑을“즉석에서”매핑할수있습니다。이를통해50 x 50 mm이상의샘플크기로x선매핑데이터를수집하여광요소스펙트럼데이터와추적요소및/또는더높은에너지x射线데이터를빠르고사용자친화적인워크플로우에통합할수있습니다。
- X선흥분의더큰깊이는1nm에서시작하여최대40 μm에이르는다층시스템의특성화를허용하며，이는전자여기로는불가능합니다。
혜택
마이크로-xrf및래피드스테이지를통해sem분석기능확장
- 이중빔전위,전자빔과X선빔모두재료특성화에대한새로운가능성을제공합니다-두소스와동시에샘플을조사합니다。
- 동시e -빔/마이크로光谱仪수집을위해동일한검출기를사용하여광요소스펙트럼데이터와미량요소및/또는더높은에너지X선데이터를통합합니다。
- XTrace와래피드스테이지는모두Esprit소프트웨어에원활하게통합되어있습니다。
- 결합된EDS와마이크로光谱仪정량화는전자흥분의더나은광소자감도와光谱仪의더나은미량원소감도를결합하여보다완벽한시료특성화를초래합니다。
- 마이크로- xrf및e-빔여기를결합한동시매핑은두세계의장점을결합합니다。전자빔과마이크로光谱仪에의해무거운원소를사용하여광원소(탄소에서나트륨까지)를흥미진진하게합니다。
- 별도의피크와확장된스펙트럼범위는덜복잡하고덜겹쳐진때문에고에너지K -라인을볼수있습니다。
- 최소샘플준비-전도성샘플。
- ` ` `준및` ` ` ` `준기반정량화。
