QUANTAX Micro-XRF
Sensibilidade do element Traço com Preparação Mínima de Amostras
Mapeamento de raios X Elementar de Alta Velocidade mesmo em grande áreas
Análise de Espessura de Filme
Destaques
10 ppm
limited de detecção
Ativando a análise de elements traços devido ao fundo光谱mais baixo
4毫米/秒
viagem
O快速阶段可选白土，高速度，大áreas
1 nm - 40µm
faxa de espessura da camada
薄膜finos a partir de 1 nm até estruturas de múltiplas camadas de 40 μ m podem ser analisados
Micro-XRF como técnica analítica互补à análise EDS无SEM
- A análise por分光光度仪fluorescência de micro-raios X (Micro-XRF) é uma técnica analítica não destructiva互补à análise传统的分散能量分光光度仪(EDS) usando um microscópio eletrônico de varredura (SEM)。泰斯análises são重要的para caracterização da composição基本的amostras desconhecidas que variam de espécimes não homogêneos de grandes centímetros até pequenas partículas micrométricas。
- excitação de raios X produz uma sensibilidade muito maior para detecção de elements traços (até 10 ppm para certos elements)， uma faixa光谱de raios X estendida (até 40 keV)， bem como informações de maior profundidade dentro da amostra。
- Equipado com tubo de raios-X em combinação com uma ótica de raios-X de microfocagem, produz pequenos tamanhos de pontos de 30 μ m com alta intensidade de transferência。
- 嗯estágio模块化基础em压电，especalmente项目para ser monado no topo do estágio SEM存在，permite mapeamento de raios X elementares de alta velocidade“在飞行中”em grandes áreas até uma velocidade de 4mm /s。Isso permite a aquisição de mapeamento de raios-X em em amanho de amostra de 50 x 50 mm (ou superior)，合并为luz元素的光谱，bem como dados elementos-traço e/ou de raios-X de energia mais alalta forma rápida e fácil de usar。Fluxo de trabalho。
- 一个主要的深孔de excitação de raios X permite A caracterização de多介质系统1 nm e variando até 40 μ m, o que não é possível com A excitação eletrônica。
锻炼耐力
扩展递归analíticos SEM com Micro-XRF e o快速阶段
- 潜在的双飞，tanto um feixe eletrônico quanto um feixe de raios X, que oferece novas possibilities para caracterização do material -调查amostras simultaneamente com ambas as fontes。
- Usando o mesmo探测器para aquisição simultânea de电子束/micro-XRF，合并光电元件，bem como元件traço e/ou dados de raios-X de energia mais alta。
- Tanto o XTrace quanto o快速阶段estão perfeitamente integrados ao软件ESPRIT。
- A quantificação combinada de EDS e micro-XRF resulta em uma caracterização de amostra mais completa, combindo A melhor sensibilidade do element to de luz da excitação de elétrons com A melhor sensibilidade do element ento traço do XRF。
- Mapeamento simultâneo com excitação micro-XRF e电子束，组合为vantagens dos dois mundos。兴奋的os元素leves(碳素sódio) usando o电子束e os元素mais pesados por micro-XRF。
- 分离的光谱的光谱的允许的一个空间的空间作为linhas K de alta energia, pois são复杂的和深奥的。
- Preparação mínima da amostra - sem superfície导流器da amostra e sem必要的广泛政治
- Quantificação sem padrões e baseada em padrões。
