극저온실리콘분석시스템

CryoSAS

특징

극저온실리콘분석시스템

브루커옵틱스의극저온실리콘분석시스템(CryoSAS)은실리콘의저온(15 K)불순물분석을위한전용올인원시스템입니다。CryoSAS는산업환경에서의운에최적화되어있습니다。

CryoSAS는브루커의고성능红外분광기와액체헬륨이필요하지않은내장된폐쇄사이클냉동냉각기술을결합합니다。모든CryoSAS구성요소는최첨단구성요소이지만입증된기술을활용하여까다로운실리콘생산환경에서어려운분석을수행합니다。CryoSAS는분석결과의정확한보고를포함하여자동화의높은수준에서작동할수있습니다。

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특징은다음과같습니다:

고감도:

CryoSAS는ASTM /半MF1630표준에따라얕은불순물(예:붕,소인등)을낮은项目前期技术援助수준으로분석합니다。또한ASTM /半MF1391표준에따라탄소와산소를낮은ppba수준으로동시에분석합니다。

저온(~ 12 k)에서탄소(위참조)와붕소및인(아래참조)에대한CryoSAS측정결과。

폐사이클극저온냉동시스템:고가의액체저온물질필없음

검출기및샘플챔버냉각을위한매우신뢰할수있는폐쇄사이클냉동냉각시스템。액체헬륨냉각냉장시스템에비해,폐쇄사이클시스템은연간50000€운영비용을절약할수있습니다더많은。

자동9위치샘플홀더와극저온샘플구획。
현재로드된샘플과선택한분석방법을표시하는CryoSAS메인소프트웨어화면입니다。

스테레스스틸샘플챔버디자:
간편한샘플액세스

고정광학및자동화된샘플헤드와입된샘플챔버설계。샘플챔버의큰내부직경은쉽게샘플홀더액세스를할수있습니다。

드라이포어펌프및터보펌프:
간단하고깨끗한진공시스템작동

터보드래그펌프와드라이포어펌프를통해빠르고신뢰할수있는대피。

9개의위치샘플홀더가있는견고하고정밀한스테퍼모터스테이지:

샘플홀더에터페이스된견고한번역스테이지는여러샘플분석을허용합니다。높은토크모터와솔리드번역메커니즘은정확한샘플인덱싱과수년간의신뢰할수있는기능을제공합니다。샘플은설치및제거하기쉽고샘플홀더는샘플챔버에부착하기가거의쉽습니다。샘플홀더의금코팅ofhc구리디자은균일한온도를보장합니다。

사용편의성:

CryoSAS는산업환경에서의운에최적화되어있습니다。모든진공및냉동장치는plc에의해제어됩니다。냉각및측정을시작하는것은간단한푸시버튼작동입니다。사용자는분광전문가또는진공전문가일필가없습니다。

전용CryoSAS소프트웨어는산업품질관리의구를충족하도록설계되었습니다。사용하기쉽고터치스크린을통해조작할수있습니다。사용자는단순히원하는분석방법을선택하고샘플정보를입력하고시작버튼을눌러야합니다。그런다음CryoSAS는자동으로샘플을냉각하고적외선측정을시작하고결과를평가하고분석보고서를만듭니다。

사양

스펙트럼범위:1500 - 280cm1의검출에최적화

  • Astm /半mf1630에따른단결정시주석의그룹iii및v얕은불순물。약두께의쐐기샘플의경우。
    3mm,다음탐지제한에도달할수있습니다:
    - 10 ppta gw
    - 30 ppta붕어
  • Astm / semi에따른대체 탄소
    MF1391。이방법은샘플시편과유사한두께및표면특성을가진탄소없는FZ참조샘플이필요합니다。두께가약3mm端面쐐기시료의경우탄소농도가20 ppba까지검출될수있습니다。
모든관련정보와결과를포함하는일반적CryoSAS분석보고서。