低温硅分析系统

Cryosas

特点

低温硅分析系统

布鲁克光谱低温硅分析系统(CryoSAS)是一款专用于分析低温(< 15 k)下硅中杂质的一体化系统,专为工业环境设计。

【中文翻译】:http://www.chinesechinac.cn/cn/cn/】http://www.chinac.cn/cn/或http://www.chinac.cn/cn/或http://www.chinac.cn/cn/CryoSAS系统。

【中文翻译】

产品特点包括:

高灵敏度:

CryoSAS依据ASTM /半MF1630标准分析浅层杂质(例如硼、磷等等),浓度可低至项目前期技术援助水平。此外,依据ASTM /半MF1391标准,可以分析碳/氧含量,浓度可低至ppba水平。

(~12 K),(),硼,()

闭循环低温制冷系统:不需要耗费昂贵的低温制冷剂

高可靠性的闭循环低温系统冷却检测器和样品仓。【中文】:50000个,

CryoSAS
CryoSAS (CryoSAS

不锈钢设计样品仓:
方便样品替换

样品仓配有稳定的光学系统及自动样品头。样品仓内部的大尺寸方便样品架进入。

机械泵及涡轮泵的结合:
简单清洁的真空系统

使用快速可靠的机械泵和涡轮泵抽真空。

坚固的9个样品支架及精密的步进马达:

稳定的转移平台及支架支持多样品分析,高性能马达及固体机械系统确保精确的样品测试。样品及样品架在样品仓内的安装非常容易。。

易用性:

CryoSAS。所有的真空和制冷系统都由程序控制。冷却和开始测量是简单的按钮操作。操作者无需是光谱仪专家或者真空系统专家。

微信号:微信号:它可以通过触摸屏操作。操作者只需选择想要的分析方法、输入样品信息,然后按下开始按钮即可启动测量。【中文翻译】:中文翻译:

技术参数

“光谱”:1500-280厘米1检测器最佳的测试范围

  • 依据ASTM /半MF1630标准测试单晶硅的III族和V族浅层杂对于3毫米厚的楔形样品,可达检测限为:
    - 10 ppta磷
    - 30 ppta硼
  • astm / semi mf1391“”“”“”“”“”“”20ppba
【中文翻译】:CryoSAS