TriboLab CMP
CMP공정최적화시험분석기기
하이라이트
TriboLab CMP
TriboLab CMP는이전제품(브루커模型CP-4)을통해20년이상의CMP공정전문지식을활용하여업계최고의TriboLab플랫폼에완벽한기능을제공합니다。그결과발생하는정확도와측정반복성은CMP공정전반에걸쳐매우효과적인검증,검사및지속적인기능테스트를가능하게합니다。TriboLab CMP는CMP공정및소모품의정확하고완벽한특성화를위해광범위한연마압력(0.05 -50 psi),속도(1 ~ 500 rpm),마찰,음향방출및표면온도측정을제공할수있는시장에서의유일한CMP공정개발시험분석기입니다。
타의추종을불허
소규모r&d시스템의ROI
이台式도구는생산장비의가동중지시간없이全面웨이퍼연마공정조건을재현합니다。
유연함
매개변수제어
맞춤형테스트를통해재료개발을가속화하고공정을정확하게개선할수있습니다。
전문가
응용분야및지원
대규모설치기반과협력하여수년간의전문지식을연구소에제공합니다。
특징
Cmp공정Cmp机器을소형화r&d스케일화한전문시스템
브루커의TriboLab CMP공정및재료특성화시스템은웨이퍼연마공정의안정적이고유연하며비용효율적인벤치특성화를위해처음부터설계되었습니다。
- 생산장비의가동중지시간없이본격적웨이퍼연마공정조건재현
- 타의추종을불허하는측정반복성과세부사항제공
- 전체웨이퍼테스트를통해상당한비용절감을위해소형조각에대한테스트허용
연마공정을더잘이해하기위한실시간진단
TriboLab CMP테스터에서컨디셔닝디스크를시험분석합니다。두개의컨디셔닝디스크그룹을마찰계수혹은패드마모도차이에의하여식별합니다。마찰계수테스트는패드마모와상관관계가있습니다。
- 시중에있는다른시스템보다cmp공정에근접한연마특성에대한가시성제공
- 기질이패드에닿는순간과전체테스트에서데이터를수집
- 보다완전하고상세한데이터를통해초기단계프로세스개발의사결정가능
샘플유형，크기및挂载구성의유연성
- 거의모든컨디셔닝디스크,모든슬러리및패드를사용하여평평한소재를연마시험분석합니다。
- 전체100mm직경웨이퍼샘플을시험기에쉽게장착가능합니다。
- 유연성을위해여러샘플장착을허용합니다。
컨디셔너패드테스트를위한CMP테스터의개념도입니다。