AutoMET软件

力量的AutoMET™软件带来了大容量,精确的AFM测量要求的生产环境。可用于维FastScan和维图标系统,AutoMET独特使结合高分辨率的AFM图像的快速、自动计量。它提供了特殊的易用性和适应性陷入质量测量在生产、QA / QC,或其他大容量测量的应用。

AutoMET使:

• 用户定义自动化纳米测量在数据存储上的用户定义的位置,滑块样品和光秃秃的300毫米晶圆
• 光学和AFM图像模式识别,tip-centering,整片或网格图的支持,并在几十个纳米image-placement精度
• 全面而简单的食谱写对于高级用户
• 容易设置对齐样本调查和执行校准修正
• 配方模式运行来执行复杂的测量成千上万的样品很容易使用一个预定义的配方

AutoMET包括直观和简单的recipe-writing环境使它非常容易减少复杂的测量程序简单,按钮操作。所有经验层次的运营商可以获得详细、准确测量成千上万的样品通过预定义的食谱。