QUANTAX FlatQUAD
x線検出における最大効率
比類ないスル，プット
デリケ，トなサンプルの分析
ハ▪▪ラ▪▪ト
1
纳米
空間分解能
semにおけるナノスケルの分解能
> 1.1
老
最高の立体角
立体角は生成されたx線の幾何学的収集効率を示します
2400年
kcps
スル，プット
従来のeds検出器の4倍の速さ
QUANTAX FlatQUAD -従来のSDDの限界地点
QUANTAX FlatQUADは，画期的なXFlash®FlatQUADをベスとしたedsマクロ分析システムです。環状の4チャンネルシリコンドリフト検出器は,SEMのポールピースとサンプルの間に挿入され,EDSで最大の立体角を達成します。QUANTAX FlatQUADは，思捷环球分析ソフトウェアと組み合わせて,最も困難なサンプルでも,比類のないマッピングパフォーマンスを実現します。
- 中程度のビ，ム電流のみを使用した非常に高速なマッピング
- 極めて低いビーム電流(< 10 pa)でのバイオや半導体サンプルのような,ビームの影響を受けやすいサンプルの解析
- 影の影響を回避した，正しい形状でのサンプル解析
- 低kVおよび最高倍率でのナノ粒子やナノ構造の分析
- x線収率の低い，temラメラのような薄いサンプルなどの測定
利点
効率を最大限に高める
力量XFlash®FlatQUAD検出器のユニークな環状設計と,SEMポールピースとサンプルの間の位置関係による高い立体角が,より高速な測定を実現します。思捷环球ソフトウェアとQUANTAX FlatQUADは,低ビーム電流でのビームの影響を受けやすいサンプル測定や凹凸の大きいサンプル解析に理想的な装置です。
XFlash®FlatQUADは、SEMまたはFIBを低電圧茎に変え,よりタイムリーかつ費用対効果が高い方法にて,最高の空間分解能および分光分解能で電子透過サンプルを分析することもできます。
電子透過サンプルからさらに多くの情報を得るために，XFlash®FlatQUADをOPTIMUS跆拳道検出器と組み合わせることも可能です。
