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半导体解决方案

薄膜厚度与RI半计量

专门的薄膜计量系统的晶圆和CD计量
产品

找到最适合你的分光光度法系统

FilmTek CD光学临界尺寸和先进的薄膜分析系统

FilmTek CD

光学临界尺寸和先进的薄膜测量系统，具有专利的多模态技术，用于实时多层堆叠表征和CD测量
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FilmTek 2000M-TSV计量平台，用于CD计量和高级包装应用中的高级薄膜测量

FilmTek 2000M TSV

全自动计量平台的关键尺寸，蚀刻深度，和薄膜厚度测量范围广泛的TSV设计。
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FilmTek 2000 PAR-SE多模态光谱椭圆偏振/多角度反射系统

FilmTek 2000 PAR-SE

最先进和通用的测量解决方案，几乎任何先进的薄膜应用，具有标准和可选功能优化的灵活性
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FilmTek 6000 PAR-SE先进的多模态薄膜计量系统，适用于先进的IC设备

FilmTek 6000 PAR-SE

先进的多模态系统，可用于监测IC器件中1x nm设计节点及以上的薄膜层的厚度、折射率和应力
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产品

FilmTek系统与可选的CD，晶圆，和TSV计量能力

FilmTek 2000M微点DUV-NIR光谱反射仪

FilmTek 2000

台式微光斑尺寸反射仪，用于测量光斑尺寸非常小的有图案的薄到非常厚的薄膜，可选的有图案的晶圆上的CD计量
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FilmTek 3000M微点反射透射分光光度计

FilmTek 3000

微光斑测量系统，用于透明衬底和晶圆上的有图案的吸收薄膜样品，特别是非常厚和/或不均匀的薄膜
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